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第七十一章 晶圆生产

    梁国威将余知远接到半导体所后,将出国进修的人员名单交给他确认。

    同时对这些人员做了遍介绍和入选说明,也说了些这段时间来为进入名单发生的纷纷扰扰。

    沉默了会,余知远问“你觉得我们要不要临时再增加些名额?”

    梁国威马上劝阻的说“千万不要,那样到时闹出的事更多,这次就按你说的50个人吧。”

    “好的,没问题,我到那边就交代人尽快给大家办理赴美手续,梁所长你到时做好人员从国内出发的事情就行”

    余知远边说边将这份名单仔细的收好放进公文包,到时好交给赫夫曼处理。

    有感于余知远对他的信任支持,梁国威高兴的一摆手招呼道“走,我们现在去院里,李老和董老他们在等着我俩到了再出发呢。”

    两人赶到中科院里,与李老他们汇合出发去工厂,使用己组装好了的单晶炉生产晶圆。

    对余知远所提供的新技术、新工艺、新设备进行测试验证。

    一队汽车开到首都西山,在连绵山峰被白雪覆盖,苍茫一片雪白美景的某处山脚下的109厂晶圆分厂内,余知远和李老、董老,还有新加入的王老他们穿上静电服,在吹尘、吸尘设备物理上的接风洗尘洗礼后依次进入生产车间。

    此时车间内的工作人员、厂领导见到大家进来后纷纷迎了过来对几人表示欢迎。

    “怎么样?准备好了吗?”李老问其中的技术科长苗向华。

    中年人的苗向华对曾经的老师回到“安装调试好了,按照生产要求还做了煅烧热场”

    李老仔细的看了遍由有武汉无线电厂、45所、沪市科学仪器厂和常仪等单位通力合作,组织生产出来的新式单晶炉后,转头对苗向华交代“那就开始吧。”

    “好的”

    他走到炉前对就位的生产操作人员宣布“单晶棒生产开始。”

    没有多久,各人员开始纷纷向他汇报。

    “炉内坩埚部件正常”

    “阀门开关正常”

    “供电设备正常”

    “机电热场部件正常”

    “气体装置正常……”

    员工每报一项,苗向华就在生产前的作业准备检查单上打勾。

    等各项检查都正常,没有出现问题后,他指示将像冰块一样的多晶硅料做投料准备、抽取真空、氩气填充等生产步骤。

    运行的单晶炉石墨加热器开始加温,加热功率从30千瓦升温开始,每半个小时增加30千瓦功率,两个半小时后功率便加到120多千瓦。

    看了一下单晶炉上的指针温度表,又看了一下实验室带来的红外温度测量仪,两方显示的都是在1400多度轻微波动,李老带着喜悦的说“这情况很好啊,升温保温很稳定,热量流失也很小”

    “想不到增加一个简单的热屏障装置就能带来这么好的效果”

    他又到观察窗旁看了下硅晶料热熔情况,独自在那连连点头。

    等到钨钢绳开始将籽晶放入炉内熔料中准备进行引晶时,周围的人都全神贯注的关注着这步非常重要的操作。

    在以每分钟5毫米的速度旋转提升一个小时后,晶棒的缩颈、放肩、转肩的成型效果都非常好,晶棒开始进入等径生长中。

    “啪啪啪”

    不知道是谁第一个鼓掌,随后大家纷纷鼓掌庆祝起来。

    余知远趁机对董老李老他们说“李老,董老、王老,你们先休息一下吧,要拉好还要五六多小时,等冷却取棒了我们再来吧。”

    “没事没事,五六个小时等起来很快的,现在生长这么好,我要在这里一直看着它彻底结束”李老想都没想的拒绝。

    董老和王老两人也表示按原来的设备和技术几天才能拉一根单晶棒,现在五六个小时对他们来说就一眨眼的功夫,完全不用担心他们身体吃不消。

    旁边负责指挥操作的苗向华听后让人搬来凳子,给王老和余知远几人坐着边休息边等待。

    见三位老科学家不等晶棒拉好不离开的决定,余知远便也坐下来与他们一起静静等待,不时也到观察窗前看炉内生长状态。

    时间在等待中流逝,苗向华来到聊天的四人面前,汇报晶棒收尾完成,开始进入降功率、停炉冷却的操作。

    李老第一个快步向单晶炉副室走去,急切的想看到拉好的晶棒。

    看着副室内这根8米长,形状均匀,晶莹剔透的单晶棒,又到另一个炉的副室仔细看了后,他满脸激动神色对身边的余知远说“试验性的生产就能拉出这么好的,小余,你提供的技术真的太好了……”

    等两个炉子拉出来的六寸单晶棒在失去炉内热量,没用太多时间便彻底冷却后,操作员便将晶棒用框架装好,卡钳夹住。

    再从头部籽晶下部细颈处将晶棒小心钳断,稳定重锤后扶着晶棒稳稳的靠入框架内,单晶棒此时便算正式生产完成了。

    接下来要做的便是对晶棒进行检测试验,拉好的这两根筋棒质量、品质在检测后便最终知晓。

    此时不但李老、王老和董老他们急切的想知道检测结果。

    就连余知远也都很想知道自己所提供的技术资料到底有没有用。

    检测员将晶棒拉近检测室,用内圆切割机截去硅头硅尾,取了样段开始用仪器进行测试。

    通过目测、显微镜观察、四探针法和轴向杂质检测等多道规范的检验、试验,检查结果很快使出来了。

    苗向华拿着一式四份的检测报告快步走来,拿给在外等待的余知远说和董老等四人。

    看完报告里直径形状均匀,晶棒整体无孔洞、新型结构、裂纹等严重硬伤。

    以及2.6的电阻率,百分之五点八的电阻均匀性,纯度6个9的一项项检测报告。

    王老沉声对苗向华问“是按正规操作检测试验吗,检测仪器没有问题吧?”

    苗向华明确的回复到“检测操作没有问题,为防检测失误,每项都做了两遍。”

    王老听后点头,想到用原来的工艺和设备三天才能拉一根直径4寸的单晶棒。

    现在用新设备和工艺按照流程简单操作,就能拉出比原来产品更优良,直径也更大的6寸单晶棒。

    而且还时间大大缩短,由原来几天拉一根大跨越的现在一天能拉几根。

    在这一项项比较下来,王老情绪异常激动,厚厚的眼镜片起了一层雾气,喜悦和激动的热泪从他的眼框中流了下来。

    他也跟那天看过资料的李老一样,饱含深情的对余知远说“小余,有你的这些技术,国内的半导体产业方方面面绝对能大跨越的发展,谢谢你。”

    听李老和董老他们透露的一些信息,余知远知道王老是国防方面的技术专家。

    此时面对他的感谢,余知远对他认真的说“我也一样,我坚信我们国家以后的半导体技术绝对能够超英赶美,领先世界。”

    “对头,我们大家都要有这个信心和志气,向着这个目标去努力”董老附合到。

    听完董老的发言,此时将这三老一少四人围在中间的车间众人纷纷拼命的鼓掌,既是庆祝,也表达自己愿意参与这奋斗的目标。

    有了第一炉就超预期的生产成果,车间又在后来两天日生产了四五炉,品质同样很好。

    在根据实际情况将生产工艺做了更好的完善优化,以及操作员开始越来越熟练的生产下,6寸单晶棒的纯度已提升到7个9的数值。

    也就是说以这个时候处理器10多万晶体管的集成度,这个纯度的晶圆已可以说是超标准的优等品。

    再加上数量级的成本下降,综合比较下来,现在的国产晶圆与日美的晶圆比,除了质量比他们好,性价比更是无敌。

    现在能有这些令人震惊的成果,皆是因余知远利用设备和技术代差的强大优势所一举实现。

    王老、李老他们也在看到这些令人惊喜的成果后更是积极奔走联系。

    让各设备部件工厂投入更多的产能进行这种先进单晶炉的生产,希望这些厂家能尽快速度生产出40套出来。

    到时给领航半导体20套,另外20套给国内相关单位,大家一起开足马力生产,给国内提供更多的优质晶圆,也向国际市场进行销售。

    李老他们同时根据余知远所提供的技术资料,将八寸的单晶炉生产制造提上日程安排。

    小营街的一座新工厂内,合资的领航半导体科技公司已将行政办公、研发、生产和余知远的办公室等部门都入驻了进来

    这天西山那边的晶圆生产车间按余知远的交代,给他送来四箱充满氩气保护的晶圆样品。

    收下货的他马上用航空运输的方式给自己在美国的极客公司发了过去。

    同时打国际长途给赫夫曼,询问他这段时间公司有什么突发事情或者重要问题没有?

    赫夫曼表示公司运营一切正常,同时简单的向他汇报了一下公司情况。

    听完汇报,余知远交代他记得留意自己今天发过去的航空件。

    收到后把样品分别发给英特尔、奇洛格、超威和德州仪器这四家芯片生产商。

    让他们对那些晶圆样品行检测,上流水线生产试用。

    如果对产品满意,自己过去后会与他们进行供货的业务商谈。

    “我明白了,收到货我会亲自处理这件事情”赫夫曼回到。

    接着他说“布莱恩先生打电话来,询问你什么时候到美国这边”

    “他说你委托的交易已经完成,地平线投资基金合作的方案他们总部也已经全部通过决议,希望你能尽快过来主持基金的投资工作。”

    余知远猜对方现在这么热切,应该是自己回家前委托的两笔期货交易获利巨大。

    在他超准的预测和巨额收益的事实面前,花旗彻底放下心来,转而对组建投资基金充满热情和期待了。

    希望他能尽快去进行投资指示,以期能马上赚钱盈利。

    余知远对赫夫曼说“我这边的事情已经告一段落,这几天就过去”

    “布莱恩先生如再打电话问,你回复他说我几天后到美国会第一时间通知他”

    赫夫曼在电话里回到“好的,我也在这边恭候老板您的到来,老板你还有什么吩咐吗?”

    “没有了,到时见”余知远说完挂了电话。